Estos innovadores controladores de presión ofrecen mayor estabilidad y precisión a la vez que mantienen la velocidad característica de los equipos de Alicat Scientific en medición y control.

Cada controlador está diseñado teniendo en cuenta las necesidades del cliente. Los instrumentos controlan la presión aguas arriba de los procesos de vacío, ahorrando dinero en las válvulas de mariposa aguas abajo. El control complejo del sistema ahora se puede ejecutar con un solo dispositivo; ya no son necesarios un módulo de control o un medidor de vacío externo.

Los controladores de vacío integrados de la serie Conductor ™ están diseñados para controlar rápidamente la presión de los procesos de vacío bombeado. Están disponibles con sensores de vacío en línea o con puertos separados (aislados). Se pueden emplear desde 0.01 Torr a 1000 Torr con el sensor de rango más amplio.

Los controladores de la serie Conductor equilibran la cantidad de gas introducido en el proceso con la cantidad de gas bombeado por el sistema de vacío, integrando una gran variedad de medidores de diafragma capacitivos (CDG) para la medición de presión.

Cálculos de muestra para el control aguas arriba:

Presión a mantener: 10 TorrA

Velocidad de bombeo de la bomba de vacío: 2 litros por segundo.

Caudal requerido: Presión real ÷ Presión estándar × Velocidad de bombeo = 10 TorrA ÷ 14.696 PSIA × 2 l / s = 0.013 × 2 l / s = 1.6 SLPM

Cuando el dispositivo está conectado aguas arriba con un suministro separado de gas para el control de presión, no tenemos que lidiar con los flujos volumétricos expandidos. Se utiliza una válvula de control más pequeña, que mejora el rendimiento del control y también reduce las posibles fugas en el sistema.

Los controladores de vacío de la serie Conductor de Alicat pueden alcanzar y mantener puntos de ajuste, incluso ante condiciones de proceso que cambian rápidamente, como flujos de masa o temperaturas desiguales.

Control de contrapresión

El posicionamiento opcional de la válvula aguas abajo permite que el equipo controle el flujo entre su cámara de proceso y la bomba de vacío. Esta opción funciona especialmente bien cuando no puede instalar el controlador aguas arriba y necesita el mismo control preciso de presión absoluta.

PRINCIPALES CARACTERÍSTICAS

• Rangos de presión absoluta (referidos al vacío absoultuo):
  • Sensor único de 10, 100 y 1000 TorrA
  • Sensor doble de 1000 y 10 TorrA
• Rango operativo (relación de reducción) ≅ 1000:1
• Calibración de precisión estándar, rastreable por NIST: +/-0.5% FS (campo de compensación cero corregible por tara de vacío)
• Tiempo de respuesta de control típico: ≥50 ms (ajustable)
• Tiempo de respuesta del sensor: 2 ms
• Utilizable para la mayoría de los propósitos: 15 minutos
• Compatible con una amplia variedad de gases, incluidos los más corrosivos
• Temperatura de funcionamiento: +10 a + 50° C
• Presión de aplastamiento del sensor: 6 kTorrG (116 PSIG)

APLICACIONES

Los controladores integrados de vacío de la serie Conductor están diseñados para una amplia variedad de aplicaciones que incluyen:

• Sputtering - Deposición de película delgada de recubrimientos para fotovoltaica, óptica, durabilidad, etc.
• Deposición química de vapor - Producción de diamantes sintéticos
• Procesos de semiconductores: Enfriamiento de obleas con helio, llenado de unidades de disco
• Extracción - Producción de extractos de cannabis

FABRICACIÓN A MEDIDA

Estos instrumentos son altamente personalizables. Hay una gran variedad de protocolos de comunicación serie o analógica disponibles, incluidos EtherCAT, EtherNet / IP, RS232, RS485, Modbus, Modbus TCP / IP o PROFIBUS. La línea también incluye una configuración de sensor aislada neumáticamente opcional. Esta opción disminuye las pérdidas de conductancia que ocurren con otros controladores, lo que permite una mayor precisión y estabilidad de control.

Variaciones del modelo

• Configuración de contrapresión (con válvula aguas abajo)
• Configuración del sensor de presión externo (PC-EXTSEN)
• Puerto de detección de presión separado (PC3)
• Configuración de doble válvula para volúmenes cerrados (solo para pequeños volúmenes de proceso)
• Control de vacío de informe de flujo másico (MC3)

Configuración con sensor de presión externo (PC-EXTSEN)

Si está trabajando a un nivel de vacío más allá de la capacidad de nuestros sensores CDG y desea utilizar su propio sensor de vacío, el controlador de presión PC-EXTSEN es la mejor opción para su aplicación. Esta configuración le permite conectar un sensor externo de alto vacío al controlador a través de un conector de sensor industrial (ISC) dedicado. Esta configuración es especialmente útil para aplicaciones de revestimiento al vacío.

Válvula de control

La configuración estándar de estos controladores incorpora las válvulas de la serie PCA. Estas válvulas de control proporcional de alto rendimiento tienen una integridad de fugas excepcional y una resistencia a la corrosión superior. Estas válvulas están disponibles en una gran variedad de tamaños de orificios adecuados para flujos desde micro litros por minuto a decenas de litros por minuto.

Los controladores con válvulas aguas abajo a menudo se suministran con las exclusivas válvulas Rolamite de Alicat. Estas válvulas de alto rendimiento son capaces de trabajar con hasta 5000 litros volumétricos por minuto.

Los ingenieros de aplicaciones de Rosetta Technology Solutions le ayudarán en la selección de las válvulas y los sensores apropiados para garantizar que su controlador ofrezca un funcionamiento rápido y estable.

Desde Rosetta Technology ofrecemos una amplia gama de sensores de medida. Puede consultar toda nuestra oferta aquí

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